【壓縮機網(wǎng)】日本精工株式會(huì )社（總部：東京都品川區，取締役 代表執行役社長(cháng) 內山俊弘，以下簡(jiǎn)稱(chēng)NSK)），已于12月16日（星期三）～12月18日（星期五）出展了在Tokyo Big Sight（東京都江東區有明）舉辦的“SEMICON Japan 2015”展會(huì )。

 

　　本次展會(huì )，NSK展出了新開(kāi)發(fā)的高精度垂直軸平臺，該產(chǎn)品可滿(mǎn)足下一代半導體的制造裝置要求。同時(shí)，也一并展出市場(chǎng)中廣受好評的氣浮導軌和真空環(huán)境下使用的定位平臺。

　　開(kāi)發(fā)背景

 

　　隨著(zhù)智能手機與平板電腦等終端電子零部件小型化、細微化、三維化的發(fā)展趨勢，生產(chǎn)設備也在向高性能化方向發(fā)展，因此，市場(chǎng)對設備中使用的定位平臺提出了高性能、高精度的要求。

 

　　迄今，NSK已成功開(kāi)發(fā)出定位平臺高性能化所需要的關(guān)鍵零部件。

 

　　· “高速·靜音&靜音Ⅱ滾珠絲杠”、“高性能滾珠絲杠”、“帶L1密封圈的滾珠絲杠”

 

　　· NSK直線(xiàn)導軌TM “NH系列” “NS系列”

 

　　· 高性能標準軸承“NSK HPS”

 

　　高精度垂直軸平臺的特點(diǎn)

 

　　· 垂直導向采用空氣軸承，可達到±0.1μm以下的平直度重復精度*1

 

　　· 采用新開(kāi)發(fā)的自重減輕結構，可實(shí)現驅動(dòng)馬達小型化（50%以下）

 

　　· 可達到與ISO規格中z*高等級1級相當的清潔度*2

 

　　· 采用楔形結構，可實(shí)現垂直方向的高精度定位

 

　　  *1： 0.1μm = 1/10000mm

 

　　  *2：所謂ISO 等級1級是指每立方米中0.1μm的粒子數量小于10個(gè)

　　今后，NSK將針對各種需求不斷提供相應的解決方案，并進(jìn)一步對環(huán)保型產(chǎn)業(yè)機械領(lǐng)域的發(fā)展作出貢獻。